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LED材料特性检测技术——PL技术

时间:2016-07-07 09:06:29  来源:  浏览量:

  PL导入LED材料分析的优势

  因PL快速量测的特性可适应LED产线上的生产速度,且以非接触与非破坏性的量测可确保样品不会在量测的过程中改变塬本的特性,配合mapping技术或将讯号接收器改为CCD,可得到样品空间分布的特性,得知制程的均匀性以回馈MOCVD的制程,于量测时不需电极可监控制成过程中每一个步骤的变化,此为PL量测技术导入LED Wafer产线的优势。

  于LED元件设计及验证方面,以蓝光LED常用的材料氮化铟镓为例,由于在晶格常数与能阶宽度图中,连接氮化镓与氮化铟兩点的抛物曲线便是氮化铟镓,随着氮化铟镓中的铟含量增加,其能阶宽度变小[13,14],所以可由PL萤光光谱波峰的位置,得知氮化铟镓中的铟含量,可借由调变激发源的雷射强度与量测萤光光谱强度可拟合出LED发光效率的相关系数,进而求出LED的内部发光效率以提供元件设计之验证,量测时不需电极,在制程时任一步骤,皆可调变制程参数,或选用不同制程方式,比较PL萤光光谱以优化出最佳制程条件等优势。

  结论

  PL为一快速、非接触性、非破坏性之可量测样品空间分布的量测技术,无论在产品的量产和开发上都有很好应用。

  (作者:工研院量测中心/叶佳良)

  • 请教磁铁芯材料等级...大家好,



    请问磁铁芯等级PC50, 3F3, N49编号的磁铁芯等级是相同的,



    但我不知道要看哪一个参数是这些编号的等级区别,



    请问有高手可以解答吗?!



    谢谢!







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